仪器名称:场发射扫描电子显微镜
仪器型号:MIRA LMS
仪器品牌:TESCAN/捷克
主要配置:
样品室SE探测器、样品室BSE探测器、镜筒内SE探测器、
一键切换SingleVac模式
主要参数:
1)放大倍率2倍-100万倍
2)SE分辨率优于1.0NM,BSE分辨率优于2.0NM
3)加速电压0.2KV-30KV连续可调
4)束流 2PA - 400 NA
特色能力:
MIRA还有一个重要的特点就是集成了无畸变大视野模式,最低倍数可达2x,单张照片的视野范围超过5cm,可以直接进行精确测量,非常适用于塑性较好的材料进行大视野的原位拉伸实验。