电子背散射衍射(Electron Back Scatter Diffraction, EBSD)是一项在扫描电镜中获得样品晶体学信息的技术。其保留了扫描电子显微镜的特点,与金相、XRD、SEM等表征手段相比,其可获取更为丰富、精度更高的晶体学信息,从而可对样品表面的特征进一步分析。电子背散射衍射(EBSD)基本原理当入射电子束进入样品后,会有部分电子因散射角大而从样品表面逸出,这些逸出的电子称为背散射电子。在这些逸出电子中,满足布拉格衍射条件(2dsinθ=nλ)的电子会发生衍射,EBSD利用这些电子的衍射得到一系列菊池花样。根据菊池花样的特点得出晶面间